二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9383830 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA反应堆是设计用于先进沉积应用的最先进的半导体加工设备。它是一个具有多种技术的模块化反应堆，使其能够适应各种工艺流程的具体需要。该系统基于AMAT专利的MESA等离子体源技术，结合了高功率、高可靠性和低成本。AMAT Centura DPS G5 MESA反应堆使用多源架构提供真正离散的等离子体源单元。它是一个双区域机器，有两个独立的腔室，一个用于等离子体生成腔室，第二个用于底物腔室。等离子体室容纳两个独立的主源等离子体，设计用于确保离子能量、等离子体密度和其他等离子体参数针对具体应用进行优化。它还具有可互换的气体管线，能够根据需要引入反应性和非反应性气体。腔室由不锈钢构成，气密，带有压力调节的波纹管和通风口，便于维护和添加气体。基底腔室可容纳一个或两个独立的工艺模块，具体取决于刀具配置，这些组件由等离子体腔室供电。它的模块化设计可以方便地为各种沉积过程更换或重新配置模块。此外，该室设有双面快门，可用于维持无污染环境或优化基板温度的时间分辨率。基底室还设有一个原位石英晶体监测资产，用于监测气流和其他工艺参数。应用材料Centura DPS G5 MESA反应器是先进沉积应用的可靠且经济高效的模型。它的模块化设计和尖端技术使流程的灵活性达到前所未有的水平,从而能够在单个平台上执行各种物理和化学上不同的流程。此外,它的低运营成本和快速的周期时间使其成为满足日益增长的小型设备需求的理想选择。