二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9383832 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA
ID: 9383832
Etcher (3) Mesa chambers Axiom chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA是一种性能高、可扩展、可靠的反应堆,用于蚀刻半导体和其他基板。MESA平台可以支持多种流程技术,并为需要更高性能级别的应用程序提供最大的灵活性。AMAT Centura DPS G5 MESA反应堆平台由无损直流电源、多级、多功能MESA处理器、高性能低压系统等组件组成。参数可变直流能源产生了可靠、一致的电场,这是实现重复过程结果所必需的。集成的动力调节和安全模块为工艺室提供了更强的性能和更好的保护。多级多用途MESA处理器旨在提供最高级别的流程准确性和可重复性。处理器体系结构是可编程的,并提供集成的流程控制功能,使自动化工具能够针对特定流程快速高效地配置。APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA配备了高性能低压系统。这些系统的设计旨在提供低压等离子体处理,以提高材料沉积速率并提高蚀刻速率。这些系统还能够对基板进行高温处理,从而实现薄膜沉积和退火等应用。Centura DPS G5 MESA的先进技术经过优化,能够为最苛刻的要求提供卓越的工艺能力。其综合功能集提供了增强的过程控制,使其成为研发新型半导体器件的理想工具。该系统适用于低k介电沉积蚀刻、集成电路制造、薄膜沉积等广泛应用。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA是半导体加工研究和制造应用的理想解决方桉。该工具的高级功能使其成为提供可靠和可重复结果的最佳选择。此外,系统精心设计的体系结构和高性能组件确保了效率和易用性,使其成为任何生产线的经济高效解决方桉。
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