二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9188281 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5是一种薄膜沉积反应器，设计用于高容量生产先进技术装置。它是一种行业领先的薄膜沉积工具，如多晶硅、氧化硅和其他金属氧化物，以及电介质和钝化层。G5是一种大气压力、双压板、线性定向物理气相沉积（LDPVD）平台，利用独特的双室技术，允许精确和可重复的沉积。该设备采用单一源技术和广泛的气体输送系统，能够广泛生产薄膜材料。G5腔室的两个腔室都装有自动百叶窗，在两个腔室条件下均具有极好的均匀性，而且材料处理效率更高。G5还具有一个独特的、正在申请专利的冷捕集功能，在沉积过程中捕获基质污染物，并允许更清洁和更有效地生产薄膜材料。G5的高分辨率自动快门控制使得多个晶片能够同步暴露在相同的沉积条件下。这样可以确保无与伦比的过程可重复性和统一性。此外，G5能够快速热循环，能够更快地处理薄膜，减少沉积步骤。这将导致更高的吞吐量和更低的拥有成本。G5还具有精确的负载锁定单元，允许快速的晶片装卸，以及出色的吞吐量。使用交流电源,机器可以快速达到并保持温度。该工具还配备了低功率射频阵列，允许进行高密度薄膜处理，并消除飞行中粒子造成的污染。AMAT Centura DPS G5是一种先进的高性能反应器，能够生产高质量的薄膜。G5具有无与伦比的工艺重复性、均匀性和高效的材料加工，是下一代设备高批量生产先进材料的首选反应堆。