二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9188282 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5反应堆是一种高端、全自动等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备,旨在满足半导体器件制造的苛刻需求。它既提供高级基板处理功能,又提供直观的用户界面,使用户能够快速方便地将其流程联机。该系统的主要优势是能够按顺序和大基板多层沉积材料,从而能够高效生产集成电路和其他组件。AMAT Centura DPS G5具有多种电源,能够使用多种气体操作,包括氮、氢、氧、芳烃、硅烷和四甲基-铵-硅烷。功率水平可以从10瓦轻松调整到1200瓦,从而实现精确的沉积速率和材料均匀性。现场发射器对基板位置提供精确、高效的控制,实现高精度处理。平行电极单元的设计允许在一次运行中多层厚度均匀。为确保最佳流程质量,该机器具有实时流程监控、远程访问和复杂的数据记录功能。这使用户能够跟踪和查明可能需要进一步改进的任何流程参数。APPLIED MATERIALS Centura DPS G5还包括AMAT Process Control Suite,它提供了一整套用户友好的图形工具,以进一步优化流程。Centura DPS G5专为大批量生产而设计,提供出色的基板处理和可靠的操作。它的可靠性确保了该工具在生产无缺陷零件时能够持续满足苛刻的周期要求。资产还具有各种安全功能,包括在紧急情况下自动关闭功能。总体而言,AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5反应堆是一个先进的模型,旨在提供可靠和精确的PECVD能力。其精密准确的过程控制允许高质量生产集成电路和其他组件,其精密的远程数据记录功能使用户能够持续监控和优化过程。
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