二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9352797 待售
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ID: 9352797
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
Etcher, 12"
Mesa
(3) Poly chambers
Axiom chamber
2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5反应堆是一种用于薄膜结构沉积和蚀刻的高性能热处理设备。该反应堆是为过程可变性、均匀性和可重复性是成功的关键因素的应用而设计的。G5利用行之有效的技术提供精确、可重复和可靠的流程结果。AMAT Centura DPS G5反应堆的设计特点是具有温度控制功能，每个腔室都有数字温度提名器，并有一个多区、气体保护的特殊堆芯热散热器，能够运行到1200 °C。高效泵和均匀的蚀刻分布为过程重复性和高产率提供了可靠的工艺条件。反应堆配备了自动清洁功能，通过自动清洁程序减少维护。工业领先的沉积和蚀刻均匀性是通过对每个等离子体腔室进行高均匀性光学设计来实现的，这样可以防止由于不对称等离子体分布而导致的不均匀性偏斜过程结果。每个加工室都配有常规法拉第护罩或磁屏蔽墙，以最大限度地提高蚀刻均匀性。跨腔溷合物输送系统旨在提供高度可重复的工艺气体，以确保可重现的沉积几何形状。APPLIED MATERIALS Centura DPS G5反应堆在所有处理操作中均具有低噪声操作功能,并保持狭窄的工作温度包络,以将排放的颗粒和污染物保持在最低限度。该反应堆的设计考虑到安全性，其特点是：一个气体入口和一个气体出口装置设计成含有爆炸性气体，一个紧急停止按钮，一个快速紧急关闭阀，以便在检测到过程失控情况时立即关闭机器，以及一个温度融合工具，以防止过热。Centura DPS G5 Reactor是需要精确度和可靠性的尖端热处理应用的理想选择。该反应堆凭借其高性能特性，能够始终如一地提供优异的加工效果，使其成为任何先进热处理需求的理想选择。
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