二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9379822 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 Reactor是一种用于半导体器件制造的大功率加工工具。它能够在基板上高速蚀刻和沉积材料，非常适合产生极其复杂的特征。G5反应堆是一种溷合双束直接等离子体源（DPS）反应堆，将感应耦合等离子体（ICP）源与微波激发电容耦合等离子体（CCP）源结合在一起。G5配备了强大的微波发电机，提供高达5 kW的能量。微波束随后聚焦在基板上，产生离子能量和粒径非常均匀的等离子体。这种均匀性对于确保一致的蚀刻和沉积结果非常重要。G5反应堆的DPS架构进一步确保了稳定和精确的微波等离子体。G5还具有广泛的气体控制功能，以确保进行蚀刻和沉积的理想加工环境。G5中使用的气体包括NF3、O2、Ar、O2/N2和H2。通过仔细控制这些气体的流动，G5产生的蚀刻和沉积质量高于传统工艺。G5反应堆还具有多种先进的安全功能，如自动化、故障安全、微波关闭系统，以确保最大程度的安全和运行可靠性。它还旨在尽量减少加工副产品的污染，进一步提高产量和产品质量。最后，AMAT Centura DPS G5反应堆是一种强大可靠的工具，非常适合制造高质量的半导体器件。G5以其双束DPS架构，广泛的气体控制特性，以及众多的安全系统，是半导体器件制造市场上首屈一指的反应堆之一。