二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ I #9116833 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+I是为先进半导体器件制造而设计的反应堆。它是一种高温、超高真空热处理设备，能够制造小型、高性能的半导体器件。该系统旨在提供超高真空（UHV）处理和均匀加热能力。AMAT Centura DPS+I是专为先进半导体器件制造而设计的高温超高真空热处理装置。这是先进工艺技术的行业标准工具。为薄膜材料的快速温度倾斜、薄层沉积、回流和烧结以及纳米结构和纳米设备的热处理提供了解决方桉。APPLIED MATERIALS Centura DPS+I有一个横梁架构，有两个工艺室、一个载荷锁定室和一个单独的冷却室。此体系结构允许优化热处理。负载锁室提供了过程灵活性和提高机器吞吐量.工艺室是真空密封的，能够达到0.1毫巴的温度。这种低温范围对于加工对热敏感程度较低的材料（如纤维层）非常重要，尤其是在涉及纳米结构的情况下。Centura DPS+I配置了电子束测量工具（EBEAM），提供实时、原位的过程监控。这样可以更好地控制和连接流程参数,同时还提供详细的数据采集和数据处理。该资产还提供诸如温度跟踪、快速温度倾斜、压力曲线调整以实现最佳等离子体处理、自动化过程控制和灵活的过程集成等功能。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+I设计具有安全功能,可保护用户和型号完整性。这包括防止气体积聚的工艺、提供温度监测器以及维持适当的温度水平以便安全运行。此外，设备还配备了保护装置，如超压安全阀、腔末平衡阀和功率调节杆。总体而言，AMAT Centura DPS+I是一个通用可靠的系统，能够为先进的半导体器件制造提供高效的热处理。该设备提供可靠的性能、精确的过程控制和改进的机器吞吐量,使客户能够实现高产率并提高设备性能。