二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II AE Mesa HP #9314662 待售
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ID: 9314662
晶圆大小: 12"
Etcher, 12"
Poly etch
(3) DPS II Chambers
Axiom chamber
RF Gen rack
AC Rack
Missing parts:
KAWASAKI ATM Robot EFEM
Buffer chamber ( VHP Robot)
Turbo pump.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II AE Mesa HP是一种高度先进的晶圆加工反应器，为优化速度和精度而设计。它采用多区腔室设计，提供均匀的材料加热和沉积，确保结果一致。该工艺室具有一个集成的工作台,该工作台具有三个左右的水平区域,可用于六个独立的冷却解决方桉,并具有独立的温度控制功能。此表允许同时进行流程,使用户能够获得更高的吞吐量和更快的周期时间。反应堆室被真空歧管包围。歧管的设计确保了该过程在允许晶片均匀沉积和蚀刻的真空中进行。该室还配备了气体喷射设备，按照测量的工艺温度提供精确数量和比例的工艺气体。AMAT Centura DPS II AE Mesa HP还配备了AMAT控制系统，该系统允许流程工程师为不同的安装创建单独的配方。它还提供了对工艺条件的实时监控,并实现了工艺优化。此外,该设备还配备了安全功能,以确保符合要求的安全标准。该反应堆还提供高精度，并提供沉积和蚀刻材料厚度的均匀性。它还提供了极好的可重复性和高水平的工艺控制，以提高晶圆生产过程的产量。最后,应用材料Centura DPS II AE Mesa HP旨在实现高性能晶片加工,并具有均匀的加热、沉积和蚀刻特性。这座反应堆配有真空歧管、气体喷射机和控制工具，为用户提供了一个提供均匀、可重复过程的强大工具。此外，这种反应堆的设计是为了最大程度地提高工艺安全性、准确性和产量。
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