二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II AE Minos #9366381 待售

AMAT（应用材料/应用）AMAT/应用材料Centura DPS II AE Minos Reactor是为半导体器件制造而设计的全自动电化学蚀刻设备。该系统由基于凝胶的等离子体源组成，能够提供高的选择性和极好的蚀刻均匀性。它具有超高真空（UHV）加工室，多晶片盒式装载机，以及高活力的工艺池，以提供可靠、可重复的结果。特高压加工室装有单晶片负载锁，设计用于装载直径不超过8英寸、最大不超过15英寸的晶片。腔室对1.3 x 10-3 torr至150 torr之间的工作压力具有公差，意味着保持清洁的环境，以最大限度地提高蚀刻结果的均匀性。多个晶片盒式装载机可以自动对单个晶片进行定心、跟踪和移动,从而提供高达8英寸宽的晶片的高速装卸。此外，热开关闸阀允许快速加载和卸载多个晶片批次，同时保持过程真空。AMAT Centura DPS II AE Minos反应堆设计为有效、安全地蚀刻。它提供了一个扩展的蚀刻化学清单，使蚀刻参数完全可变化。它有一个专门的自动化层作为后盾,以优化流程配方并确保可重复的性能。该机具有内置气体控制阀，以优化蚀刻速率和侧壁角度，而用户友好的等离子体源控制为当前蚀刻过程提供了额外的灵活性。此外，APPLIED MATERIALS Centura DPS II AE Minos Reactor带有众多的安全特性。它配备了一个高级流程控制（APC）工具，以防止因意外事件导致的失控状况，以及各种旨在提醒人员注意潜在问题的视觉警报和警告系统。而且，该资产整合了多层次的安全门模型，以防止对外来材料产生意想不到的反应和反应。最后，AMAT/APPLICED Materials（AMAT/APPLIED）Centura DPS II AE Minos Reactor是一种坚固、全自动的电化学蚀刻设备，设计用于高度精确的半导体器件制造。它提供了广泛的蚀刻化学和工艺参数，加上可靠的安全系统和专门的自动化层可重复结果。