二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2 #9284376 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2是专门为半导体制造而设计的半自动、生产级反应堆。它是一种先进的多室设备，用于设备制造的光刻、沉积、蚀刻和表面处理工艺。该系统由四个单独的加工腔组成，每个腔能够容纳直径达12英寸的200毫米晶圆基板。该装置配有一个双级机械臂，允许从腔室插入和移除基板。这个机器人臂是由一个手动的负载锁，可用于加载和卸载晶片从他们的容器补充。AMAT Centura DPS II Mesa T2还包括一台快速压力控制机，使每个腔室能够在五分钟的跨度内达到高达8 Torr的压力。此外，整个工具的精确加热器控制可以达到摄氏30至350度的温度范围。此外,APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2具有先进的维护资产,可帮助操作员识别泵中的再循环错误,减少污染的可能性,并简化预防性维护。此模型为用户提供全面的诊断系统、完整的事件日志和板载部件套件支持。此外，设备还允许操作员远程升级和监测反应物的组成和工艺。最后,Centura DPS II Mesa T2符合SEMI E 12和SEMI S2等行业标准。该系统设计为洁净室兼容，并配有排气单元和排气洗涤机。它的占用空间很小,可以轻松安装,并且可以根据客户的需要对工具进行定制配置。
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