二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2 #9284377 待售
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ID: 9284377
晶圆大小: 12"
优质的: 2015
Poly etcher, 12"
(3) Poly chambers
Axiom chamber
2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2是一种多反应堆设备，设计用于半导体行业的先进掺杂和蚀刻工艺。它建立在AMAT高性能氮化钛（TiN） T2工艺技术平台上,能够对各种接触、闸门和沟槽结构进行极其快速、高效和经济的处理。该系统由几个组件组成--一个晶片反应室、一个远程等离子体源，以及另外两个为多种掺杂剂和蚀刻剂应用配置的反应室。腔室设有高温烤箱、可编程气体控制、压力控制以及多个电极和晶圆提升器，以实现均匀、可重复的沉积过程。AMAT Centura DPS II Mesa T2单元为用户提供了几个关键优势。它执行高效、经济高效、均匀的沉积过程，可用于各种掺杂和蚀刻应用，包括晶圆清洗和氧化物沉积。该机还具有可变气流和压力设置，以提高工艺精度和重复性。此外，该单元设计有多个工艺电极，有助于最大限度地降低场反转的风险，最大限度地提高处理的吞吐量和均匀性。该工具可容纳单个和多个平台处理,允许客户自定义其流程选项。APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2也为掺杂剂和蚀刻管理提供了完整的环境。这包括用于掺杂剂监测和过程控制、集成蚀刻室监测和实时模型管理的全自动资产。该设备还提供多个过程控制模块,包括手动、半自动和闭环控制选项,可根据每个客户的个人需求进行配置。总体而言，Centura DPS II Mesa T2是一种先进的反应堆系统，为用户提供高效、经济高效和统一的沉积工艺。凭借其高性能的氮化钛工艺平台、多个工艺控制模块以及集成的掺杂和蚀刻监控功能，客户可以信任该单元为其半导体应用提供可靠、可重复的结果。
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