二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly AE Mesa #293635852 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II反应器是一种高级蚀刻工具，专门设计用于制造集成电路（IC）和其他高性能微电子元件。AMAT Centura DPS II是一种高通量蚀刻工具，利用低能量磷光涂层和高度精确的光束控制相结合，在蚀刻过程中实现精确的几何形状和层厚。该工具可在高达120开尔文的温度下运行，并且由于其快速、低温的蚀刻工艺和深层沉积能力，与其他传统蚀刻工具相比，具有蚀刻工艺的灵活性优势。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II反应堆具有多种工艺创新,包括双电荷载流子启用,以及多电流、多气体和多速率能力。这使得工具能够为多个蚀刻过程指定单独的步骤，并以极高的精度实现特定的层厚度。CENTURA DPS+II还提供了先进的过程控制和监控，允许用户在监控产品质量的同时调整漂移时间和脉冲电压等参数。刀具的设计也将污染和晶圆破损降至最低。它包括一个机器人晶片装载设备和一个自动气体溷合系统，除了一个可调光束聚焦单元，以确保高效和准确的处理与最小的停机时间。Centura DPS II还具有用于维持最佳晶圆温度的集成冷却机，以及用于去除腐蚀性气体的专用排气工具。为了进行广泛的蚀刻工艺，AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II利用了多种磷涂层陶瓷、不锈钢和钼硅基板。它可以预先编程，在多种蚀刻工艺之间切换，如干法和湿法蚀刻、离子束蚀刻、深x蚀刻等等。在其广泛的使用寿命中,APPLIED MATERIALS Centura DPS II已成为高科技行业中一个非常可靠和高效的蚀刻工具。它具有精密的层厚、高通量的精密蚀刻能力，是业界备受追捧的蚀刻工具。低温蚀刻工艺加上该工具先进的工艺监控资产，使得AMAT CENTURA DPS+II成为生产高性能IC和其他微电子结构的宝贵工具。