二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #139909 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II反应器是一种电子束物理气相沉积（e-PVD）工具，配备了3-He容量的负载锁。该反应器的设计目的是为先进的聚氯乙烯工艺提供大尺寸晶圆上大的均匀沉积速率。它具有可配置的双喷射器模块,最多可同时执行四个过程,从而实现高产量和吞吐量。反应堆的4英寸原位源具有多种应用，包括溅射、多层沉积和与所有真空工艺技术兼容的纳米结构的高速率沉积。AMAT Centura DPS II反应堆是一种高真空设备，运行压力为1..5 x 10-5 Torr（2 mbar）。它配备了超高真空（UHV）线性校正离子吸收器系统，用于改进基板/基板界面粘附。这个高真空单元保持一致的晶圆温度均匀性和均匀性。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II还具有高速晶圆旋转功能,双转速范围为5至75 rpm和200至300 rpm。Centura DPS II反应堆装有多区加热机，用于对个别工序的精确热控制。这保持了一个统一的工艺环境，提高了沉积速率的均匀性。加热器控件与各种基板兼容，在各种沉积温度下实现高精度工艺。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II提供了三维温度剖面测量功能,使用户能够最大限度地减少温度剖面的变化。AMAT CENTURA DPS+II具有独特的晶圆对接工具，具有预载机构和低级机动式电梯。这保证了晶片的精确和可重复的装卸而不受污染。APPLIED MATERIALS Centura DPS II还配备了车载机械端口和群集端口,可轻松与其他沉积系统集成。CENTURA DPS+II是一种高效可靠的工具,是各种PVD过程的理想选择。它能够生产高质量、均匀的薄膜层和具有尖锐过渡的层，允许高产生产。