二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #293821495 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II反应器是为大容量生产多晶硅而设计的。它是一种全自动加工工具，具有40厘米退火室和先进的多区热均匀性技术。工艺模块功能包括最高600 cph,并行最多3个模块。该工具还包含一套低温配方，以提高生产率。AMAT Centura DPS II配备了双设定点腔室温度控制设备，用于精确控制腔室内的热条件。该特性可以优化多晶硅膜的生长均匀性。该工具具有先进的表面制备工艺，如离子清洗和热壁等离子体沉积。它还包括一种高温电介质溶液，旨在减少电介质膜中的被困电荷，提高工艺的重复性。应用材料CENTURA DPS+II采用多步多晶硅沉积工艺，包括蚀刻回步骤去除界面氧化物层、层转移和均匀根生长步骤。沉积过程通过先进的实时过程控制系统进行控制。该单元旨在通过监测原位温度和剂量水平并相应调整参数来优化运行和跨晶圆均匀性,以补偿工艺结果中的任何不均匀性。APPLIED MATERIALS Centura DPS II包括一个高级端点解决方桉,旨在提高过程控制和吞吐量。该解决方桉采用实时端点和沉积速率测量相结合的方法，以便能够在较长时间内更快地确定端点，从而准确控制多晶硅厚度和平滑度。CENTURA DPS+II反应堆利用5级安全机器进行操作员安全防护。该工具确保工具在其安全参数范围内运行,并防止任何可能导致危险事故的破坏。反应堆还包括一个全天候运行的远程监测资产，并向操作人员通报过程参数内的任何不规则性。AMAT CENTURA DPS+II是一款高效生产优质多晶硅的全自动机器。其先进的工艺控制系统、均匀性技术和安全措施使其成为大批量多晶硅生产的理想选择。