二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9116829 待售
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ID: 9116829
Metal system
Load lock: wide
Chamber A, B: DPS+ metal
Chamber C, D : ASP+
Chamber E: fast cool down
Chamber F: orient
Robot: VHP+.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II反应堆是利用快速热处理的先进半导体生产设备设备,允许显着提高生产吞吐量。这种最先进的工具为复合薄膜的外延和沉积提供了业界领先的晶圆处理能力。它可以处理直径最大为8英寸(200毫米)的单晶片和批处理配置,而且每个作业最多可兼容四个晶片载波。该工具提供了许多标准选项和自定义升级选项,确保可以根据特定应用程序的要求对其进行定制。AMAT Centura DPS II使用专有的高级流程流算法来帮助确保最高级别的性能和可靠性。它还具有先进的石英增强沉积系统,以提高工艺的均匀性和层性能。这个单元可以很容易地为其他沉积应用定制。该工具还提供了一种创新的高速晶圆转换机,使作业运行能够快速高效地完成。应用材料CENTURA DPS+II的关键优点之一是反应时间快。这是由于先进的红外加热器,它提供精确的控制,允许精确和可重复的温度,而不需要复杂的温度稳定过程。该工具还具有精密的晶片夹紧工具,能够在不损坏有价值的晶片的情况下对层进行精确的对准和沉积。这大大缩短了整个过程的时间,并且不需要昂贵的晶圆修复。CENTURA DPS+II的另一个关键特点是全面设计的环保资产。该模型采用多种技术,包括热管理和冲洗,以尽量减少污染并保持关键部件干燥。这有助于确保针对多种类型的晶片和薄膜进行全面优化的生产环境。该设备还具有互锁支撑结构,提供最高水平的制造稳定性和可靠性。此外,还提供了广泛的清洁系统,以帮助消除杂散颗粒并降低制造过程中出现缺陷的风险。所有这些功能结合在一起,使APPLIED MATERIALS Centura DPS II成为市场上最先进的生产级反应堆系统之一,可提供高水平的可靠性、可重复性、效率和成本节约。适用于大型生产应用,能够满足现代半导体生产最严格的要求。
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