二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9116830 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II反应堆是一种半导体制造工具,用于各种先进的加工操作。该设备为高需求和复杂的工艺步骤提供了一个强大的高性能生产平台。反应堆的主要功能部件包括工艺室、高压涡轮分子泵、低压离子泵、防冻陷阱、控制平台等。该工艺室设计用于多晶圆加工的高通量.它是一种绝缘不锈钢,具有集成的蚀刻和沉积部件。较高压力的涡轮分子泵被用来维持腔室内稳定而紧密的真空,使得多晶圆处理成为可能。它提供了一个高抽水速度与卓越的服务和快速的原位再生。低压离子泵用于在处理过程中支撑光学元件。它提供了增强的一致性和过程稳定性。冷冻保护陷阱的设计目的是保护系统部件免受冷冻冷凝物堆积造成的腐蚀。控制平台是一个直观的用户友好界面,有助于有效的流程性能。它提供了对高速射频偏置和脉冲功率的综合控制,以最小的功耗实现卓越的质量沉积。平台还包括集成式压力控制单元、温控机、综合安全联锁工具。总而言之,AMAT Centura DPS II反应堆为半导体制造提供了一个强大而高性能的解决方桉。其集成的组件和控制平台使其成为复杂且要求苛刻的过程步骤的理想选择。
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