二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9120412 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II反应堆由AMAT公司设计，是一种先进的晶圆加工设备，旨在实现半导体加工的最高生产力。该系统的最大实际吞吐量为每小时115个晶圆，是业界最快的反应堆之一。该装置由一个三区源提供动力，该三区源将可疏散的钟形罐中的颗粒汽化，并将其引导进入反应堆，从而减少颗粒残留，提高性能。它还包括两个可旋转基板支架，两个独立控制的温度区和两个远程过程控制区。AMAT Centura DPS II反应堆还通过主动温度和压力控制提供了良好的工艺环境控制。主动温度和压力控制使反应堆能够保持对过程温度、压力和大气的严格控制，从而产生尽可能高的产物产量。该机器还包括高级数据日志记录和过程配方执行,可最大限度地控制刀具性能和产品产量。数据日志记录允许操作人员监视关键流程参数的运行时值,从而提高流程控制和产品产量。随着工艺配方的执行，APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II在运行具有多个多晶硅和金属层的复杂化学体系时提供了高度的精确度和重复性。AMAT CENTURA DPS+II是任何需要高吞吐量、快速处理时间和极高精度的半导体处理环境的完美工具。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II凭借其先进的特性和对工艺环境的控制,能够实现最复杂化学体系的最高产量和最低缺陷率。