二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9189889 待售
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ID: 9189889
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Poly etcher, 12"
(4) Chambers:
(3) DPS II
Poly
Axiom
Chamber configuration:
Chamber A:
Chamber model: DPS II
Bias generator: AE APEX 1513, 13.56 MHz, Maximum 1500 W
Bias match: AE, 13.56 MHz,3 kV navigat
Source generator: AE APEX 3013, 13.56 MHz, Maximum 3000 W
Source match: AE, 13.56 MHz,6kV navigat
Lid: Ceramic lid, dual gas nozzle
Turbo pump: EDWARDS STP-A3003CV
Throttle valve: VAT pendulum valve DN-320
FRC: MKS FRCA-52163310, 500/500 1/4VCR
ESC: Dual zone ceramic ESC
Endpoint type: EyeD IEP
Cathode chiller: SMC POU
Wall chiller: SMC INR-496-016C
Process kits coating: Anodize coating
Cooling: HT 200 / FC 40
Chamber B:
Cathode chiller: SMC POU
Chamber C:
Cathode chiller: SMC POU
Wall chiller: SMC INR-496-016C
Chamber D:
Chamber model: AXIOM
Source generator: 5000 W
Source match: AE match (RF System)
Throttle valve: Throttling gate valve
ESC: Pedestal heater
Mainframe configuration:
IPUP Type: ALCATEL A100L
Gas panel type: Standard
VHP Robot: Dual blade
MF PC type: CPCI
Factory interface configuration:
Frontend PC type: 306 Server
FIC PC type: 306 Server
(3) Load ports
Atmospheric robot: KAWASAKI Single fixed robot (A3 Type)
Side storage: Right / Left side
MFC Configuration
Chamber A:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 1 CL2 300 DSPGD1XM
Gas 2 NF3 50 DSNGD1XM
Gas 3 SF6 100 DSPGD1XM
Gas 4 HBR 500 DSRGD1XM
Gas 5 N2 20 DSLGD1XM
Gas 6 N2 200 DSPGD1XM
Gas 7 O2 50 DSMGD1XM
Gas 8 O2 400 DSPGD1XM
Gas 9 HE 500 DSPGD1XM
Gas 10 CHF3 200 DSPGD1XM
Gas 11 CF4 300 DSRGD1XM
Gas 12 AR 500 DSPGD1XM
Chamber B:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 1 CL2 300 DSPGD1XM
Gas 2 NF3 50 DSNGD1XM
Gas 3 SF6 100 DSPGD1XM
Gas 4 HBR 500 DSRGD1XM
Gas 5 N2 20 AALGD40W1
Gas 6 N2 200 DSPGD1XM
Gas 7 O2 50 DSMGD1XM
Gas 8 O2 400 DSPGD1XM
Gas 9 HE 500 DSPGD1XM
Gas 10 CHF3 200 DSPGD1XM
Gas 11 CF4 300 DSRGD1XM
Gas 12 AR 500 DSPGD1XM
Chamber C:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 1 CL2 300 DSPGD1XM
Gas 2 NF3 50 DSNGD1XM
Gas 3 SF6 100 DSPGD1XM
Gas 4 HBR 500 DSRGD1XM
Gas 5 N2 20 AALGD40W1
Gas 6 N2 200 DSPGD1XM
Gas 7 O2 50 DSMGD1XM
Gas 8 O2 400 DSPGD1XM
Gas 9 HE 500 DSPGD1XM
Gas 10 CHF3 200 DSPGD1XM
Gas 11 CF4 300 DSRGD1XM
Gas 12 AR 500 DSPGD1XM
Chamber D:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 5 N2 1000 DSSGD1XM
Gas 7 4%H2/N2 5000 DSVGD1XM
Gas 8 O2 10000 DSVGD1XM
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是一种先进的工艺反应堆设备，可用于进行各种工艺，生产从消费电子和汽车部件到航空航天零部件和医疗设备的各种产品。该系统旨在提供灵活可靠的处理能力,从而实现生产周期的一致和高效管理。AMAT Centura DPS II使用优质材料，如不锈钢，以确保使用寿命长。它由5个主要部件组成，分别是反应堆室、进料杯、工具杯、排气流量控制装置和驱动控制装置。反应堆室的设计目的是为化学反应提供最佳环境和温度，并提供惰性大气以防止腐蚀性蒸气。进料杯配有进料机，用于将原料引入工具中进行加工。工具杯用于存放精密工具和配件，这是成功完成过程所必需的。排气流量控制装置负责控制从反应堆室释放出来的气体和蒸气量，确保其保持在安全水平。最后，利用驱动控制资产来调节反应堆的运动速度，并确保精确的温度控制。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II还包含许多保护操作员和模型本身的安全功能。这些安全特性包括紧急关闭开关、压力监测设备、氧气监测系统和惰性气体监测单元。此外,机器的软件能够显示详细的诊断程序,帮助快速识别操作过程中可能发生的任何故障或风险。总而言之,AMAT CENTURA DPS+II是一种先进可靠的工具,能够执行各种生产产品的过程。其强大的设计和全面的安全特性使其成为任何制造设置的理想选择。
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