二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9223550 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是一种先进的化学扩散反应器,可用于广泛的半导体制造过程。这种多功能反应堆提供了一种高效、可编程的方式来实现高质量的结果。它设计用于100毫米、110毫米、200毫米和300毫米晶圆尺寸的基板。AMAT Centura DPS II具有先进的气体输送设备,具有用于化学输送的双线性稀释区。该系统可以对几种气体溷合物提供高精度、低浓度的控制，从而实现精确的过程控制。有了这个先进的单元，用户可以轻松调整各种工艺化学物质的浓度水平，以最大限度地提高工艺产量并确保生产批次的一致性。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II具有受热/冷却浴的严密控制的热环境,可实现最佳的温度控制和工艺化学的均匀性。其温度控制机设计用于管理高达30°C/秒的瞬时温度变化率，而不影响过程稳定性或时间控制。此外，该工具还提供了先进的水冷疏散室，用于晶圆上的最小应力（温度/压力）。Centura DPS II还具有强大的集成基板加热资产,该资产采用闭环控制模型进行设计,以实现精确稳定的温度控制。其加热设备的工作温度可达900 °C,温度稳定性额定值± 1°C。这种先进的加热系统可确保整个晶片表面的晶片温度均匀,从而获得一致的工艺结果。AMAT CENTURA DPS+II也有一个四区泡泡装置，用于冷却和回火过程化学。这台机器通过提供对整个气泡室的精确温度控制，为广泛的工艺化学控制提供了方便和稳定的温度控制。最后,APPLIED MATERIALS Centura DPS II附带嵌入式高级诊断和过程优化工具。该工具提供对过程数据的实时监测和检查，以确保扩散过程保持在最佳水平。此外,它还提供了流程优化参数,使用户能够从其流程中获得最佳性能。