二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9243879 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是为研究和生产应用而设计的功能强大且先进的氧化加工设备。该反应器专为保形异质结过程而设计，提供卓越的工艺控制。其设计允许薄膜在多种应用中均匀沉积，包括高k电介质、金属、聚合物等的沉积。AMAT Centura DPS II的腔室由低热质量的不锈钢制成，导致基板表面的热扩散最小。该系统配有外热屏蔽，旨在最大限度地减少粒子和散射损失，其内部有高度抛光的光洁度，以减少高温下的粒子发射。该单元还具有两个负载锁,可加快加载和卸载周期。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II也有一台先进的端点检测机，不需要在运行过程中进行配方调整和监控。该工具具有强大的辐射圆顶和开槽感应源，具有很高的加热性能。这样可以快速加热到1000 °C,并确保整个过程的温度均匀。无声运行和无维护涡轮泵保证了在处理过程中对气流的精确控制和精确的压力水平。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II电源控制器包括用于设置和监视处理参数的前面板接口（FPI）。该控制器可以轻松快速地调整参数,同时增强过程的均匀性和可重复性。自适应伽玛控制算法使等离子体参数的精确控制以及快速测量和反馈能够在沉积过程中维持所需的基体条件。AMAT CENTURA DPS+II是研究和生产应用的理想选择。凭借其先进的设计和功能,该资产提供了卓越的过程控制、改进的一致性以及更快的加载和卸载周期。此外，其强大的加热和气体控制能力以及先进的端点检测，使其成为现代氧化过程的宝贵工具。