二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9253347 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II
ID: 9253347
Metal etcher.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是一种先进的等离子体蚀刻反应器,旨在提供卓越的工艺性能和提高装置产量。该设备用于制造当今生产的最先进的半导体器件。AMAT Centura DPS II凭借其集成的工艺体系结构,为蚀刻先进的硅和复合半导体材料提供了一个完全自动化和可靠的系统。该装置强大的光化学气相沉积(P-CVD)室确保了许多材料的精确沉积,如氧化硅、氮化物、多晶硅、金属和合金,呈复杂模式。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II等离子体蚀刻室提供卓越的蚀刻速率控制和可重复性,使工艺配方能够更准确地设置和重复运行,而无需手动操作人员干预。AMAT CENTURA DPS+II包括多工具控制器等高级工具,使操作员能够轻松监控最多四个蚀刻和沉积过程,而独立的硬件和软件控制系统则提供更大的灵活性和机器级别的灵活性,以满足用户的具体要求。该工具先进的气体输送资产提供精确的气体输送和倾斜控制,而先进的内部等离子体氧化和沉积源则集成在一起,以提高生产率和工艺均匀性。此外,DPS II具有高级容错软件,可提供预测性维护和模型级诊断。除了提供出色的等离子体蚀刻和沉积外,APPLIED MATERIALS Centura DPS II还提供强大的工艺诊断,包括实时光发射测量、激光诱导荧光(LIF)以及自动退相干(ADC)测量。此外,设备还配备了一套全面的工艺配方,可以修改以满足用户的具体需求。APPLIED MATERIALS/Centura DPS II是一种可靠且用途广泛的生产反应堆,可以处理广泛的蚀刻和沉积要求。对于希望以最经济高效的方式生产最优质设备的用户来说,这种尖端系统是理想的选择。
还没有评论