二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9260903 待售

ID: 9260903
晶圆大小: 12"
Poly etchers, 12" (4) Chambers.
AMAT(应用材料)AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是一种核心沉积设备,用于各行业的薄膜沉积,包括电子和传感器制造。DPS II型芯加工装置被设计为一种高度适应性和高效的沉积工具,用于各种基材,如硅、氧化物、氮化物和金属晶片。它是一个独立的、超高真空(UHV)的沉积反应器,具有集成的电馈通和气体输送。特高压系统为各种类型的矿床提供可重复的质量,目标尺寸范围很广。该装置配有精确定位台,以及先进的机器人送货机,用于精确、精确的晶圆送货。内部工艺室包含双磁控管阴极,以保证膜的均匀沉积。双磁控管网促进材料的均匀分布,而多级检测则确保工艺符合所需的规格和参数。DPS II具有动态操作控制工具,可提供手动和自动过程控制。这一资产允许用户实时有效地监控和调整操作参数,如温度、功率、压力、气流和反应时间。该模型还具有自适应技术,可自动响应过程参数发生的变化。DPS II还采用了高分辨率光学显微镜,能够目视检查沉积过程。这种显微镜既可以捕捉粒子,也可以捕捉高分辨率图像的沉积物质的运动。显微镜还包括一个反光镜,它在观察过程中揭示沉积物的任何缺陷。DPS II具有广泛的工艺专用室,包括离子束溅射、原子层沉积、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和电子束蒸发。这种综合性的板式堆迭设备增加了沉积系统的多功能性,允许对多种类型的基板进行批量处理。总体而言,AMAT Centura DPS II是一种高质量、灵活的沉积工具,适用于各种应用,包括制造电子设备、传感器和光电设备。该装置的集成特性和优越的沉积稳定性使其成为精密电子和传感器产品研发和生产的理想解决方桉。
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