二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9293611 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是一种先进的等离子体增强型化学气相沉积（E-CVD）反应器，用于半导体和微电子工业。DPS II能够处理直径不超过8英寸的晶片上的复杂薄膜堆栈。该反应器采用坚固的硬件设计，具有优异的功率和沉积均匀性，非常适合低速和高速率沉积过程。DPS II提供了先进的功能,如石英顶衬、获得专利的侧壁衬里（可实现快速清洁周期和长时间运行）,以及密封室（可帮助最大程度地减少污染并确保可重现效果）。反应堆还包括可编程气体分期和增强实时可调性的最终过程控制。其自动端点检测为多层薄膜沉积等过程提供精确控制。AMAT Centura DPS II具有广泛的工艺能力，从用于PMOS设备的低温氮化物沉积到用于内存和逻辑VLSI技术的NMOS设备的高温CVD氧化物。该系统还具有在不使用辅助助剂的情况下沉积保形膜的灵活性，适用于优质屏障和保护膜的沉积。作为AMAT Centura平台的一部分,DPS II还增强了安全性和环境特性。它配备了自动安全区系统，根据气体成分、压力和温度感知潜在泄漏风险，必要时自动关闭系统。该反应堆还采用模块化设计，便于升级和维护，高效的气体循环和自动排气，从而无需手动清洁或排出燃烧室。总之，应用材料CENTURA DPS+II是一种先进、可靠的E-CVD反应器，具有良好的功率和沉积均匀性，具有可编程气体分期。其先进的硬件和安全特性使其成为各种沉积过程的理想选择。