二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9377212 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是一种先进的、具有工艺能力的反应堆，旨在满足半导体、应变工程、纳米技术、光学和能源加工领域的许多应用需求。反应堆能够从低到高的温度和压力运行，并在各种复杂的大气中运行，有许多材料和化学物质。多模处理与先进自动化相结合，使反应堆能够以精确和可重复性执行复杂的处理任务。反应堆有一个控制设备，可以精确控制工艺参数，允许广泛的工艺定制和优化。控制系统具有自动放置晶片以确保晶片定位正确、能够设置四种特定的沉积配方等特点，可用于可重复沉积应用。反应堆运行通过对机组硬件、温度等重要参数的硬件监控实时监控。反应器室是温度控制的，可以支持各种各样的加载硬件，包括散装晶片、基板和盒式装载。腔室设计使循环时间较快，温度分布均匀，从而产生均匀的处理结果。两级直接加热和间接冷却减少了污染，提高了工艺的可重复性。该室还设有一个设计在安全机器关闭操作，如果腔室失去压力或压力过低。AMAT Centura DPS II还具有可选的附加硬件,例如用于监测薄膜厚度的不透明度监视器,或用于化学反应的臭氧发生器产生臭氧的形式。反应堆还有一个可选端口，允许在沉积过程中引入惰性气体。该反应堆设计为在高真空条件下运行，同时允许工艺参数的可变性和应用配方的灵活性，从而为加工创造了最佳条件。应用材料CENTURA DPS+II能够在各种温度和气体中进行精确和可重复的处理。它保证高质量的结果将超过半导体、应变工程、纳米技术、光学和能源加工应用的标准。该反应堆的设计便于使用和可靠性，具有先进的自动化和控制能力，以提供统一和高效的结果，并尽量减少维护和保养。