二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9377213 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是一种先进的反应堆设备,设计用于处理半导体制造中的复杂过程。这个系统提供了一个单一的平台,可以适应MEMS、薄膜和MEMS中的各种应用。它采用通用腔室设计,可适应等离子体蚀刻、热退火、封装、沉积、氧化等多种工艺类型。该机组采用多气源、超低压操作范围和高温制造工艺供电。AMAT Centura DPS II反应堆包括具有机器监控、配方控制和远程访问功能的触摸屏HMI。它还配备了高压脉冲射频等离子体源,能够在非常低的压力下进行处理。它提供了对过程参数和可变多通道气体输送的精确控制,允许严格控制过程参数和电感控制的广泛变化。此外,APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II还包括用于过程监视的传感器技术和用于重复过程重复性的高级硬件。该工具还具有一个节省时间的功能,允许最多三个气源被模拟改变,以减少循环时间。整个资产为精确、可重复、可靠的操作而设计,与领先的真空系统兼容。Centura DPS II反应堆为半导体行业的先进研究需求提供了可靠高效的解决方桉。它提供高质量的过程结果,同时保持过程的可重复性和产量。其特点使过程控制高效,产量提高,产品质量更高。该模型是半导体元件的高级研究、原型设计和制造的宝贵工具。
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