二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9390587 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II
ID: 9390587
Metal etchers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是早期Centura DPS的升级版,是用于低压化学气相沉积(CVD)和低压金属有机化学气相沉积(MOCVD)的工具。它旨在满足先进集成电路(IC)生产的需求。它能以受控和有效的方式将材料的薄膜层沉积到基板上,用于生产具有增强性能的IC。AMAT Centura DPS II是一长串AMAT沉积工具中的最新产品。该系统旨在为半导体器件生产提供无与伦比的均匀性和可预测性。该工具利用电子回旋共振(ECR)微波等离子体源实现低压CVD和MOCVD的生产。该ECR源提供低压和高功率密度,在大基板上具有良好的均匀性.对等离子体羽流进行了优化,以实现所有材料的最大保形再沉积,对基质表面条件的破坏最小,生产率高。该工具配有一系列附件,可用于手动或自动装载和卸载基板。它可以配置用于热或冷基板传输,具体取决于应用程序。高速、精密的传输能力使高质量薄膜的高效生产成为可能。该工具还配备了高级传感器,用于实时监测工艺参数。监测系统高度精确,为运营商提供了对目前生产状况的精确了解。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+II是一种先进的工具,旨在在低压CVD和MOCVD过程中提供高级集成电路的卓越生产。它具有精确的过程控制和跨大基板的均匀性.通过对工艺参数进行先进的实时监控和高效的传输能力,操作员能够生产出高质量的薄膜,产量极佳。此工具非常适合在低压CVD和MOCVD过程中需要高精度和均匀性生产的生产环境。
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