二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9390589 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II是为半导体加工应用而设计的高真空双单晶圆处理反应器。它为用户提供了一整套关键蚀刻和沉积过程的工具。利用创新技术，它能够实现精确和一致的最终结果。DPS II配备了与"环形"等离子体源结合工作的闭室设备，以实现均匀的高温等离子体处理和最大的工艺均匀性。这种闭室系统还最大限度地减少了反应性气体利用率，从而增加了单位吞吐量。它由3个独立的钥匙构成，以实现手动操作，并在操作机器时提供更高水平的安全。DPS II旨在修复先进的微电子设备。它具有用户友好、可编程的控件,带有专用窗口和触控菜单屏幕。简单的选择过程可以方便地批量选择晶片,并在每次运行前自动验证参数。该反应堆还包括一个PECVD能力，允许进一步的过程扩展。该工具的设计具有很高的兼容性。它与多种材料兼容,如氧化硅、氮化硅、低k电介质、介电自旋、多晶硅、碳化硅和硅​​金铵。其超低压技术确保了可靠高效的组织工程。获得专利的Close-Proximity电源资产在晶圆周围创建了一个高效的等离子体护套，允许在蚀刻和沉积过程中获得更高的离子能量。这样可以更好地清洁和蚀刻选择性。它的热控制模型能够在很短的时间内精确控制腔室温度。设备先进的物料输送系统提供可靠一致的物料输送。DPS II能够同时运行多达3UF个光谱仪,因此用户可以实时测量、监控和控制沉积速率、均匀性和组成。它包括高级晶圆处理功能,例如增强的端点检测以进行过程调整。其高效的负载锁也提供了更高的吞吐量。该设备还易于维护,具有用户维护部件和用户自上而下的清洁功能。顶部和底部的热板为不受热温影响的过程提供快速、可靠的加热。它的高级安全配置使得访问敏感数据变得困难。最后，AMAT Centura DPS II是一种单晶片、高真空反应器，旨在高效加工高性能微电子器件。它具有各种创新技术、可编程控制、与各种材料的高度兼容性以及先进的安全功能。该反应堆也易于维护，为高效生产提供高吞吐量。