二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly #293813384 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly Reactor是一种高效可靠的工具，专为精确沉积多晶膜而设计。这种工具结合了一种超细氧化膜沉积设备的性能和应用Centura平台的灵活性，无论沉积的沉积参数或薄膜如何，都能提供精确和可重复的结果。AMAT Centura DPS Poly Reactor是用于微电子应用的薄膜沉积的精确可靠的工具。该平台以AMAT Centura 500 Cx平台为基础，针对精确膜沉积进行了优化。该平台能够提供等离子体处理和可变薄膜沉积的最佳组合，为每次沉积运行提供精确和可重复的结果。它包括一个高压辉光放电源提供精确和可重复的离子化聚合物沉积，以及先进的机器人自动化等离子体处理，可变薄膜沉积和均匀化。除了高压辉光放电源外，该平台还提供了沉积前诊断系统和温度剖面控制，使得用实时温度剖面控制单元监控基板表面成为可能。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+POLY Reactor是一种高体积的探测器和反应堆机器，允许精确和可重复的薄膜增长速度。Centura平台允许用户立即调整压力和工艺条件,使他们能够快速、准确地实现所需的结果。该平台还采用了先进的腔室设计，最大限度地提高了处理效率，提供了多个射频电源，优化了腔室几何形状和脉冲等离子体注入。该工具还可以精确控制沉积温度和压力,从而无需手动调整。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+POLY Reactor是一种多晶膜沉积的通用、高度可靠的工具。它是专门为多晶膜的沉积而设计的，用于微电子工业的各种用途。该资产高度可靠，无论沉积参数或沉积膜如何，都能提供精确和可重复的结果。该平台能够在短时间内提供高质量的多晶膜，其先进的腔室设计确保了致密化的高效加工和均匀性。
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