二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly #9214670 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly是一个功能齐全的工艺室，设计用于生产先进的聚合物材料。该反应堆可提供最大的制造灵活性和正常运行时间,并设计用于最大程度地控制过程、提高生产率和提高产量。该设备的亮点之一是多模式基板加载。此功能使单个centura腔室能够支持多种晶圆尺寸和螺纹模式,从而减少了在盒式磁带之间手动切换的需要。它还配备了聚合物阀门，能够在几分钟内切换晶圆的几何形状和工艺流程。Centura反应堆采用增强晶圆温度均匀性设备建造。这个系统包括三维热映射和集成加热器和传感器。该装置可确保反应堆在整个晶片表面提供极均匀的晶片温度。结果，拒绝量最小化，收益率最大化。AMAT Centura DPS Poly还配备了层流气体管理机。该工具使设备能够为高级流程实现最高质量的气体输送。该资产还减少了60%以上的气体消耗,降低了成本并提高了设备的效率。此外，该装置经过出厂校准。这消除了大量手动校准的需要,减少了屈服时间,并消除了人为错误和维护。该气室还包括一个获得专利的气体输送模型，帮助该气室管理多个气流和过程流。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+POLY专为易于使用和卓越的过程控制和性能而设计。该专利反应器具有多模式基板载荷、增强晶圆温度均匀性、工厂校准等特点，是先进高分子材料的理想装置。