二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly #9226614 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly是一种为多晶硅和其他材料的沉积而开发的干修补垂直热化学气相沉积反应器。Centura DPS™ Poly平台将垂直和水平处理功能与活塞驱动的旋转时间控制相结合,提供垂直热沉积过程的纳秒Control™。纳秒Control™设备能够在1°C的范围内控制底物温度，确保高质量多晶硅膜的沉积。Centura DPS™ Poly平台的垂直工艺几何形状还为手动清洁和维护提供了出色的访问权限。多功能的Centura DPS™ Poly平台占地面积小,公用事业消耗低,非常适合半导体制造设施。Centura DPS™ Poly平台还能够与高级流程自动化系统一起运行,从而将其集成到自动化工具流中。该平台采用独特的双源单元，提供反应物气体均匀分布，跨基板和晶圆尺寸均匀性极好，从而在高基板吞吐率下产生高质量薄膜。Centura DPS™ Poly经过彻底测试,以确保所有组件和系统都能正常运行并符合业界的高标准。每台机器都经过严格的校准和验证过程，以确保最佳的处理能力。该工具可配备INOVA Module™,以提供更多的控制和监控功能,从而减少了模块交换的需要,并提高了正常运行时间。最后，AMAT Centura DPS™ Poly是优质多晶膜沉积的绝佳选择。垂直工艺几何形状和Nanosecond Control™资产为清洁和维护提供了卓越的工艺稳定性和良好的访问权限。该模型还具有较小的占地面积和较低的公用事业消耗，使其成为空间有限的半导体制造设施的绝佳选择。双源设备保证了反应物气体的均匀分配，提高了膜的均匀性和吞吐率。