二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly #9293858 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly Reactor是一种高性能、自动化的化学气相沉积（CVD）设备，是各种研究和工业应用的理想工具。反应堆采用模块化设计，允许使用各种各样的基板和工艺条件。AMAT Centura DPS Poly Reactor具有沉积金属、多晶硅、氧化膜的能力，以及对厚度、均匀性、成分精确控制的多层膜。反应堆先进的工艺室有一个简单、符合人体工程学的设计，使其能够快速准确地达到极高的真空水平。它具有重型石英冷墙，以防止高温暴露，墙壁涂有特殊的防腐材料，最大寿命。反应堆还包括一个自动晶圆传输模块，方便多种晶圆尺寸的装卸。应用材料CENTURA DPS+POLY反应堆具有最先进的控制系统,可对过程参数进行精确和可重复的控制,包括温度、压力、沉积速率、掺杂剂浓度等。该单元的设计具有灵活性，因此可以轻松调整其工艺配方，以适应不同的薄膜类型和层。反应堆还有一个强大的真空机，可以达到低至1E-7 Torr的压力。此外，反应堆高度可定制，具有垂直和横向晶圆敏感性、彩色触摸屏显示以及直观的软件界面等高级功能。它还附带了一个内置配方的综合库，该库已针对过程的可重复性和统一性进行了优化。APPLICED MATERIALS Centura DPS Poly Reactor是多种研究和工业应用的理想工具，因其功能广泛、控制精确、使用寿命长。对于任何需要以速度和准确度存放胶片的实验室或生产设施来说，这是一项宝贵的资产。