二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS R1 #9188286 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS R1是一种用途广泛且紧凑的单晶圆真空沉积设备。利用它的快速访问设计，它可以被配置为一个理想的系统，为众多沉积过程。它在同一个星团内提供晶圆传输，不需要衬底穿梭于涂层之间。该装置所启用的沉积过程是单序PVD、ALD、溅射、氧化和非晶硅基过程。DPS R1机设计用于运动经济性、软件驱动运动控制、提供正常运行时间和最大吞吐量。它加载了全循环过程诊断和自动化,可监视沉积中的所有组件,从而产生可重复和可靠的过程,有助于提高产量。AMAT Centura DPS R1设计用于介电、金属和钝化膜,以及以减压或增大压力沉积或蚀刻的膜。这有助于控制基板应力和蚀刻选择性。该工具完全集成，包括石英钟形罐、真空资产、负载锁和晶圆传输自动化。集成软件是由AMAT Genesis软件支持的直观图形用户界面。此软件提供了对实时数据的无与伦比的查看,并利用智能诊断程序简化了调试过程。它还提供了易于解释的接口数据,并且可以快速处理重复任务。此外,直观的图形用户界面（GUI）提供了一种引导方法,并优化了沉积过程。APPLIED MATERIALS Centura DPS R1与智能塔式技术配合使用,有助于减少维护停机时间和成本。通过将多达三个过程模块集成到一个模型中,它可以减少刀具配置时间和资本支出。节能设计还有助于提供改进的投资回报率。综上所述,Centura DPS R1是一种经济、高性能的单晶圆真空沉积设备,可快速交付一致可重复的过程,并具有易于使用的图形用户界面,用于实时数据处理。它设计简单，功能强大，非常适合半导体工业中的沉积工艺。