二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #293603772 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS（沉积工艺设备）反应器是一种先进的半导体制造工具，用于沉积用于各种半导体和其他电子产品的薄膜。该系统用于将高质量的薄膜沉积到晶片和其他具有出色保形覆盖率的基板上。这是通过以特定的流速和压力向基板表面输送工艺气体化学物质来完成的。控制来自机组的气流的能力确保整个过程中保持正确的气流形状，从而产生均匀的沉积。沉积过程使用一对磁控管进行沉积。晶片和基板支架在x-y-z轴上一致移动,晶片通过真空卡盘固定到位,以保持晶片温度稳定。晶片随后暴露于工艺气体中，该气体反应形成所需的薄膜。AMAT Centura DPS反应堆设计有电力、气体和流体供应系统，确保过程参数能够得到准确控制。APPLIED MATERIALS Centura DPS反应器在批次内实现了高度的可重复性，同时提供了一个稳定的环境来达到所需的薄膜质量。设备的串联自动质量控制机（AQC）通过整个沉积过程监控基板。这是通过测量晶片特性来完成的，如反射率、覆盖率、厚度和表面粗糙度。AQC还提供了额外的好处，如自动工艺优化、薄膜应力控制以及自动缺陷检查和分类。Centura DPS反应堆比其他沉积系统具有多项优势。这包括处理一系列材料的能力，例如有机物和无机物，以及使用晶圆本身进行原位监测和工艺优化。此外，反应器可用于沉积不同种类的薄膜，如金属、电介质和绝缘体，以及一系列几何特征尺寸。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS反应器是半导体和其他电子产品制造的理想选择。