二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #293607518 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+是为先进的IC和MEMS器件的沉积而开发的高性能热反应工艺室。利用独特的LEAN工艺创新,DPS+设备利用等离子体活化、反应性离子蚀刻（RIE）和具有低功耗工艺功能的统一工艺模块以及可精确控制工艺化学和参数的直接驱动控制器的组合。其集成工具利用AMAT专有的SmartScan技术。这使工艺优化和快速参数调整自动化，以适应基板对基板和腔室对腔室的可变性，从而实现更可重复的工艺结果。该系统的超低压技术（ULPT）允许温度低至20°C。这使得这个腔室非常适合于脆弱的低k介电材料的沉积。Advanced Process Control （Advanced Process Control, APC）具有卓越的一致性,进一步提高了流程的重复性和重复性。集成APC具有高性能比例积分导数（PID）算法,可主动监视和调整工作环境,以确保每个层的过程纯度、鲁棒性和其他所需的规范。该装置的高度约为41m宽x 5.1m高x 6m深，符合ISO 5洁净室等级。它是一种先进的机器，用于沉积高k电介质、屏障层和金属、有机和有机金属化层等压缩和拉伸膜。该工具还为高级薄膜形态控制提供了卓越的轮廓分析功能。它包括先进的8室设计，以及加热器、石英罐、淋浴头和加热RTP（反应性离子蚀刻）等附加组件。资产还配备了确保最大工作环境安全的综合安全模型。它具有广泛的安全功能，如侧壁保护、防爆破笼、过程警报和自动紧急关闭阀。DPS+与APPLIED MATERIALS专用的3D软件配合使用,该软件可为高级设备制造提供高效的3D过程集成。总体而言，AMAT Centura DPS+是一种先进的热反应工艺室，用于生产高性能的IC和MEMS。它结合了低功耗工艺、直接驱动控制器、统一处理模块和SmartScan Technology，给了它比其他热反应堆更多的优势。此外，其安全设备和ULPT技术进一步确保了工艺安全和可重复性，而其8室设计则允许3D工艺集成。
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