二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #293608987 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+是一种单晶片化学气相沉积（CVD）反应器，旨在为MEMS等先进器件及其他微观和纳米级材料的大批量生产执行薄膜沉积工艺。它由四个主要部件组成：加工室、气体输送设备、真空系统和控制单元。加工室是AMAT Centura DPS+的中心部件，由不锈钢、铝合金和陶瓷部件制成。它包括一个气体入口，一个排气口，一个晶片级，和几个石英观察端口进行过程监测。晶片级设计用于在加工过程中支持晶片，并采用氮气净化系统来定位，以减少污染。气体输送机向加工室提供必要的反应性气体，由歧管块、压力过滤器、质量流量控制器和温控工具组成。真空资产负责疏散加工室，由粗加工泵和旋转叶片机械泵组成。控制模型能够精确控制所有工艺参数，包括温度、气体流量、反应堆压力和晶圆温度。它还包括一个随时间推移监测和记录过程数据的数据记录设备。该系统完全自动化,允许快速设置、产品实施和过程监控。总之,APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+是一种可靠而可靠的单晶圆CVD工具,旨在生产具有一致高质量结果的高级设备。该装置能够精确控制必要的工艺参数，其闭环控制机器确保了高水平的工艺稳定性和可重复性。