二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #293792493 待售

ID: 293792493
晶圆大小: 12"
Metal etcher, 12" (2) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS反应器是一种在微电子过程中沉积薄膜材料的革命性工具。该设备为各种薄膜材料的沉积提供了广泛的易于使用的微型制造工艺。该系统采用多种多样的模块化设置,可实现高效、精确的薄膜沉积和处理。该反应器采用高温、高真空工艺室,提供一致、可重复的薄膜沉积工艺性能。AMAT Centura DPS反应堆设计为多室、多步单元,包括工艺模块、控制器和沉积室。采用过程模块和控制器来建立和控制薄膜沉积过程。过程模块包括自动蒸汽输送、运动、温度和压力控制系统。控制器可以编程沉积循环并保存配方。沉积室在加工过程中用来容纳基材。它配备了原位测量功能,允许用户监控和跟踪沉积过程条件。APPLICED MATERIALS Centura DPS反应器是一种先进而强大的沉积机,非常适合制造亚微米高精度薄膜。该工具使用户能够快速调整流程周期并即时运行配方,从而通过最终的流程控制实现高吞吐量生产。它具有直观的用户友好图形用户界面,易于操作。资产能够沉积各种薄膜材料,包括硅基材料和有机物。Centura DPS反应器具有几个显着的优点,包括快速的底物装卸、沉积均匀性、低污染率和一致的薄膜质量。反应堆还包含一个自动错误控制模型,用于监视和记录过程参数和过程性能。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS反应器是一种直观、高效、精密的沉积设备,为用户提供薄膜沉积过程的终极控制和精度。它实现了亚微米薄膜的高通量生产,具有出色的可重复性,为各种制造工艺提供了可靠、经济的解决方桉。
还没有评论