二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9093380 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS是一种独特的多室湿处理反应堆，用于下一代制造和技术开发。这座反应堆配备了多个腔室，为处理挑战提供了创新灵活的解决方桉。该反应堆提供了高通量、快速工艺周转和精湛工艺控制的理想组合。AMAT Centura DPS反应堆由多个装有沉积和蚀刻能力的腔室组合而成。这允许将多个过程步骤整合到一个反应堆中。它是二乘二系统的理想选择，其中两个沉积过程可以在一个腔室中进行，两个蚀刻过程可以在另一个腔室中进行。这允许快速生产整个和灵活调整过程参数的即时。该反应堆具有多种特点，可用于更好的控制、更方便的操作和维护。它具有复合陶瓷衬里真空室，具有高保真机械臂和多轴运动控制系统。真空室的设计提供了卓越的热管理和改进的过程控制，而机械臂和多轴运动控制则提供了出色的晶圆处理和过程控制。高性能射频发生器和光辐射光谱等其它特性保证了优越的工艺均匀性和可重复性。反应堆具有处理大型底物的能力，处理时间长达几分钟。它也可以在那段时间的一小部分时间内处理较小的底物。这是由于其高效率的加工室设计和优化的射频供电系统。适用于低批量生产和研发应用。应用材料Centura DPS反应堆是研究人员和制造商都能使用的通用且功能强大的工具。它具有良好的工艺控制,具有高通量,稳定的沉积速率和卓越的热管理.它提供了灵活的解决方桉,可以处理各种流程任务。该反应堆非常适合大批量生产和研发，高效、快速、可靠。