二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9093676 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+反应堆是半导体制造中用于前端和后端工艺的耐用、全自动和通用的加工设备。该系统旨在为晶圆外延、离子注入、金属CVD和ALD工艺提供最佳工艺效果。反应堆由五个主要子系统组成--工作站、加工室、控制器、排气管和加热器元件。工作站的设计旨在为设备的机械臂提供必要的照明、移动和对准，以及晶圆装卸的准确性。加工室本身由真空室组成，可抽空至低至0.06 Torr的压力，为沉积、植入和其他过程提供纯净无颗粒的环境。腔室内部也设计为防止薄膜、颗粒和其他材料堆积，而热交换器则保持均匀的工艺温度。DPS+的控制器负责执行应用配方中的命令,以及进行必要的调整和决策以优化过程结果。界面方便用户,允许手动调整和自动化。机器的排气管负责收集过程副产品，并将腔室内的热负荷降至最低。最后，反应堆的加热器元件是可调的，可以设置在广泛的温度范围内，提供进一步的多功能性。总而言之,AMAT Centura DPS+旨在在半导体制造中提供最佳处理效果,同时实现完全自动化和高效。该工具的灵活性还允许处理各种材料，从第四类材料到第三至第五类复合材料。反应堆的多功能性也使其成为前端应用的理想选择，如外延和离子植入，以及后端应用，如Metal CVD和ALD。