二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9096236 待售

ID: 9096236
晶圆大小: 1997
Poly system (2) Chamber Currently installed 1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS反应器是化学气相沉积(CVD)和原子层沉积(ALD)可用的最好、最可靠的工具之一。它是为全面生产而设计的先进工艺设备,使用户能够开发出具有优越的胶片性能和性能的先进胶片。AMAT Centura DPS系统的CVD反应室由不锈钢构成,由两个并排、垂直安装的石英工艺管组成。两个管子都被真空环境包围,总工艺面积可达8.9升。采用标准炉单元,确保工艺室内的温度得到准确维护。这两个工艺管中的每一个都包含一个被并入石英管的多区磁感器。可以单独控制磁感器,以确定整个运行的温度分布。APPLIED MATERIALS Centura DPS机器的气体输送是通过光纤多区域气体输送工具进行管理的,通过允许每个区域都有自己的流速来确保均匀性。该资产还具有对温度、压力和气流进行综合沉积监测和控制的功能。这样可以提高制造过程中的精度,并有助于优化均匀性。此外,Centura DPS还利用数字接口对模型设置、参数和配方进行远程管理。AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS设备是生产高品质薄膜的坚固可靠工具,具有优异的薄膜性能和性能。通过精心设计和使用先进技术,AMAT Centura DPS使用户能够准确地制作具有出色均匀性和可重现性能的胶片。该系统是那些希望开发性能优越的下一代电影的人的理想选择。
还没有评论