二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9157801 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS是下一代反应堆，旨在满足广泛的设备加工需求。它提供了对关键沉积工艺参数的精确控制,是公司双模式解决方桉（DPS）系列产品的最新版本。该反应堆的设计目的是通过精确的工艺控制，可靠地处理当今先进的计量、沉积、蚀刻和表面处理任务。AMAT Centura DPS适用于前沿设备的高需求量生产,将先进的沉积和阵列技术与改进的工艺稳定性相结合。DPS可为高长宽比应用（如钻孔和沟沟）和更传统的设备工艺提供精确的全场蚀刻和沉积。该反应堆装有一个封闭的单晶片工艺室，与以前相比，其温度、压力和等离子体均匀性大大提高。其对流冷却设计提供了更好的长期稳定性，以及更大的聚焦深度。反应堆还提供内置的自动腔室冲洗能力，提供均匀的工艺气体。DPS提供了对沉积和蚀刻工艺参数的精确控制,允许重复产品结果。此外，工艺室提供实时等离子体和压力反馈；消除了曝光后模型校准的需要,并允许立即对过程进行校正。凭借其先进的晶片支持系统，DPS为蚀刻和保形涂层提供了理想的环境。除了先进的工艺功能外,APPLIED MATERIALS Centura DPS还提供卓越的安全功能,包括内置的温度传感器,可检测热失控情况。其可单独寻址的配方模块允许用户以最大的灵活性调整配方设置。Centura DPS是一个强大的反应堆，可以满足各种工艺的需求。凭借其最先进的功能和卓越的安全特性,它是任何设备生产环境的理想选择。