二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9188292 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+是一种高性能化学气相沉积（CVD）反应器，旨在支持具有高度工艺控制的先进材料沉积。AMAT Centura DPS+反应堆采用业界领先的燃烧室设计，可以以比其他CVD系统更高的质量和可靠性沉积材料。设计用于石墨烯、碳纳米管、各种氧化物材料等材料的大批量生产，以及用于先进半导体应用的电介质、金属等化合物的沉积。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+具有密封腔室,具有独特的超高泵速度设计。这种压力、温度和动能控制相结合，提供了一个低温气相沉积平台，支持大面积高度保形、均匀、优质的材料生长。腔室与真空泵隔离，从而消除了主要的污染源。它还能够提供比竞争系统更高的吞吐量，因为它的基板尺寸更大，直径可达200毫米。该反应室有两种沉积源的沉积材料选择：第一种是晶圆喷头，这是一种垂直于基质的倾斜喷头源，第二种是传统的垂直喷头源。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA DPS+可以修改，以适应气泡、分子束外延源、气箱等前体输送系统。CENTURA DPS+具有直观的控制设备,允许用户只需单击几下即可对多种配方进行编程,并快速实施复杂的沉积过程。用户还可以监视单个过程步骤或运行分析,例如反应速率或前体利用率。该系统强大的自动化界面可轻松集成到自动处理线路中,其开放的体系结构可实现自定义的可编程性和调优。简而言之，AMAT CENTURA DPS+反应堆是一种用途极为广泛、容量极大的CVD单元，可用于沉积质量和可靠性较高的多种材料。其密闭室设计和多用途沉积源配置为用户提供了前所未有的大面积过程控制和材料均匀性。直观的控制机器和自动化集成功能使其成为满足苛刻处理需求的理想解决方桉。