二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9192739 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS是一种先进的等离子体干条式反应器，用于半导体和微电子工业的蚀刻操作。它是Centura Wafer蚀刻工具的下一代版本,提供比其前身更高的吞吐量和更高的精度。DPS适用于广泛的材料，包括硅、多晶硅、氮化硅、氧化硅和铝。AMAT Centura DPS是一种高性能、高通量的干条设备,能够执行高度自动化的精密蚀刻操作。该系统采用先进的等离子体技术以及多气体溷合室，以尽量减少潜在有害的电离辐射造成的损害。DPS支持一系列气体，包括氢气、氧气、氮气和其他惰性气体，这取决于正在加工的材料。APPLIED MATERIALS Centura DPS专为快速高效的蚀刻操作而设计。它从涉及流处理的预处理循环开始，该循环应用一层氧化薄膜来提高氧化物的选择性。第二个循环用于将氧化物蚀刻到目标深度。Centura DPS的众多特性，如其电容耦合等离子体（CCP）源和快速剥离过程，允许蚀刻时间少于5秒。这一短的蚀刻周期提高了生产率，提高了产品产量。该单元还提供多种过程控制功能。这包括一个基于波形分析的实时监控机器，能够精确控制蚀刻过程。这样可以自动检测和纠正任何潜在的过程问题,从而提高可靠性。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS是半导体制造商寻找精密干条加工的理想工具。AMAT Centura DPS具有先进的控制系统、快速的循环时间以及与以前的Centura晶圆蚀刻工具相比提高的产量,是任何蚀刻操作的理想选择。