二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9193142 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS是一种反应性离子蚀刻（RIE）和沉积设备，用于制造集成电路（IC）和许多其他类型的半导体器件。AMAT Centura DPS旨在为大批量IC生产提供卓越的性能、工人安全和易用性。应用材料Centura DPS设计用于沉积或蚀刻半导体制造中使用的许多材料，从金属到有机物。它使用若干工艺气体的组合，送入一个工艺室，以实现这些材料的高质量蚀刻或沉积。工艺气体包括氧气、氮气、氙气、氦气和/或氯化氢。该工艺室包括一个动力顶部电极，可移动基板台，和涡轮泵用于疏散腔室。位于腔内的等离子体源用于产生蚀刻或沉积材料所需的离子。Centura DPS能够在晶片的整个表面上提供均匀的蚀刻和沉积结果，无论其大小如何。它还能够在各种压力、温度、功率水平和定时周期内运行,以获得所需的蚀刻或沉积结果。此外，该室的设计有助于保持工人的环境清洁和安全，因为气体扩散和污染最小化。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS还采用了若干保障措施，保护工人免受危险物质的侵害。它的多级联锁系统有助于确保自动化工艺配方保持在其参数范围内,最大限度地降低产品污染和工人接触有害物质的风险。该单位还包括一台室内监测机，使用传感器和照相机系统记录处理数据，并确保工人和设备的安全。AMAT Centura DPS是一种极为流行和可靠的IC生产工具。它能够提供优异的蚀刻和沉积效果，同时具有较高的安全性，是生产高质量集成电路的理想选择。