二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9212912 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS（沉积工艺设备）是一种高度通用和可靠的UHV（超高真空）工艺工具,用于将薄膜材料沉积到半导体和平板显示基板上。该系统经过专门设计，用于生产高纯度、具有出色的均匀性和均匀性控制能力的超薄层工艺材料，从而能够产生复杂的沉积工艺。该装置利用两个独立的沉积源和两个独立的气源。该机经过设计，达到了非常低的颗粒物水平，使其非常适合于生产超薄层。AMAT Centura DPS使用多种工艺组件运行，包括真空处理室、沉积源、气源、写入源、目标屏蔽层、温度源以及超高真空（UHV）源。真空过程室是一个连续的垂直管结构，使持续的超高真空条件，有助于消除粒子逃逸进入机器环境的可能性。沉积源是一种电子束蒸发工具，旨在降低沉积在基材上的薄膜结构中液滴和均匀性的影响。气源用于向工艺室引入预定的气体压力，也可用于监测和控制过程。该写入源用于交付工艺配方，目标屏蔽可以对沉积过程中使用的光子能量进行空间控制。应用材料Centura DPS对复杂多层结构的沉积非常有效，因为它对沉积源和气源都有精确的控制。它能够生产薄至10纳米的层，具有出色的均匀性控制能力。由于其超高真空结构和精确的温度控制，沉积过程具有很高的可重复性。该资产配备了广泛的数据记录和过程控制，允许用户实时监控和调整过程参数。Centura DPS是一种非常可靠的超高真空工艺工具,强烈推荐用于生产具有精确均匀性控制的薄膜层。其精确的温度控制和先进的数据记录能力使其非常适合复杂的多层过程，而其UHV配置则提供了高度的可重复性和可控过程。这使得它成为底物沉积和薄膜应用的理想选择。