二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9223551 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS
已售出
ID: 9223551
晶圆大小: 8"
Metal etcher, 8" 1.55 (2) DPS (2) ASP Narrow body SNNF HP Robot.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS是一种先进的沉积反应器,能够在沉积过程中提供卓越的效果。AMAT Centura DPS结合了高密度等离子体、极端温度变异性和先进的基板控制,使沉积室具有广泛应用所需的各种薄膜、薄膜拷贝和光学薄膜,成为一个健壮的优化沉积室。APPLIED MATERIALS Centura DPS中的等离子体是在众多加工区内生产的,允许微调电离原子是否被去除或掺入薄膜中,使薄膜具有所需的特性。各种加工区可以进行优化调整,提供尽可能高质量的薄膜,让用户为每个特定的应用选择合适的薄膜。Centura DPS系统旨在提供高通量和优异的均匀性,从而能够在大面积上沉积薄膜。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS可确保在较大的温度范围内对关键基板进行控制,从而为高度敏感应用的关键薄膜或薄膜提供可靠和稳定的操作条件。通过提供不同折射率的光学薄膜,系统能够提供多种光学特性,包括抗反射、增强反射、衍射光学和斜角。对于多层和单层薄膜,可以为每个工艺步骤设置和自动调节基板温度,从而确保薄膜质量一致。AMAT Centura DPS还包括快速温度升高和自动冷却系统,使工艺工程师可以选择最大限度地减少停机时间并最大限度地提高生产效率,因此可以做到这一点。APPLIED MATERIALS Centura DPS还提供了许多高级控制功能,允许用户控制沉积厚度、掺杂剂、薄膜能量和其他参数,以实现所需的确切结果。这座反应堆也是用材料制成的,以抵抗腐蚀,并包括安全机制,使用户可以确保它在整个生命过程中保持原始状态。综上所述,AMAT/Centura DPS是一种先进的沉积反应器,为各种应用提供了许多好处,从标准薄膜到特殊光学薄膜。其温度变化、基板控制和高密度等离子体使其成为要求苛刻的工艺的优化选择。
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