二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9233290 待售
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ID: 9233290
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Poly etcher, 8"
Mainframe: Centura 2
Chamber A, B & C:
DTCU: ES-DTCU
Gate & throttle valve: TGV, VAT
EDWARDS STP-A2203 Turbo pump
Pumping tube: Heated
ADVANCED ENERGY Altas 2012 Generator (Source)
ENI ACG-6B Generator (Bias)
ESC: Ceramic
EPD: Normal
Chamber E: Fast cool down
Chamber F: Orieter
Xfer: VHP
L/L: Narrow, heated, tilt-out
Hoist: Local hoist
Gas panel:
Chamber A, B&C:
Gas / Size / Model
Cl2 / 200sccm / 8161
HBr / 200sccm / 8160
Cl2 / 50sccm / 8160
NF3 / 100sccm / 8161
N2 / 20sccm / 8161
CF4 / 50sccm / 8161
SF6 / 50sccm / 8161
O2 / 100sccm / 8161
He / 20sccm / 8161
Ar / 200sccm / 8160
Missing parts:
Process chamber chiller & hose
EPD PC & Monitor
Chamber D (ASP+):
Microwave generator missing
Tuner missing
Magnetron head
Dummy load
Wave guide gas panel parts
VDS
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+是为沉积过程设计的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器。它非常适合各种应用，从先进的热压键到先进的金属化层，再到非极性电介质和氧化物的生长。DPS+非常适合进行完整的沉积操作-无论所需薄膜成分的复杂性或要求如何。AMAT Centura DPS+具有全7轴运动控制的双枪双快门硬件配置，使其能够精确调整基板和沉积源的位置。全运动控制提供了过程的灵活性,从而实现了具有高级控制序列的高精度过程。此外，方便地进入基板支架的能力允许快速装载和卸载基板。为了方便起见,DPS+有几个现场或近地监测过程,这些过程监视过程条件,提供实时反馈,并允许通过即时调整优化过程。这种实时监控还可以实现高度的态势感知,并确保所有进程都能平稳高效地运行。反应堆还具有独特的计算机控制气体分配设备，包括内部载气供应、气流控制器和嵌入式气体溷合物控制系统。该装置可精确控制工艺条件，并确保每个工艺的气体输送得到优化。在安全性方面,APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+采用了多种措施来确保安全运行,从坚固的电机到可编程联锁工具,再到独立认证的紧急停止资产。此外，反应堆有严格的警报系统，可以监测所有过程，提醒操作员注意任何过程的不规则性。AMAT CENTURA DPS+是一种用途广泛且可靠的反应堆，可以处理广泛的应用要求。其全运动控制、先进的监测能力和独立的安全系统使其比市场上的其他反应堆更具优势。控制系统有助于确保对工艺条件的精确控制，并使用户能够更好地控制沉积工艺，使其成为质量控制和保证的宝贵工具。
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