二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9249569 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+是一种先进的等离子体蚀刻反应器，设计用于进行深各向异性蚀刻和浅各向同性过程，具有高的选择性和对底层的最小损害。它配备了自动化遥控设备，使操作快速高效。该反应堆基于专有的AMATSi（Advanced Materials Atomic Thickness Selection）蚀刻技术，包括广泛的工艺气体选择，为各种应用提供优化的结果。其独特的"多填充"设计沿着整个工艺室创造出均匀的压力，允许严密的过程控制，提高了均匀性和可重复性，更大的产量和成本节约。AMAT Centura DPS+可配置用于PECVD（等离子体增强化学气相沉积）和PEB（等离子体增强蚀刻）处理。PECVD处理用于在诸如PCB或硅片等基板上生长金属和其他材料的薄膜。PEB处理用于去除这些薄膜，蚀刻金属和电介质等底层材料。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+采用多级方法构建,可在一次运行中处理高达8英寸的晶片。反应堆室的设计可容纳定制气体输送系统和过程控制器，使用户能够量身定制其过程，以精确匹配其应用的规格。AMAT CENTURA DPS+由先进的第十二代电源供电，在蚀刻过程中实现了更高的等离子体密度和改进的工艺均匀性。该系统还配备了先进的真空装置，用于快速疏散过程废物和有机物种。此外,该机器还可用于实时监视和分析流程,从而使用户能够快速轻松地对流程进行任何必要的调整。CENTURA DPS+是一款功能强大、先进的蚀刻反应堆工具，提供卓越的性能和可重复性。全面的设计和先进的功能使其成为一个经济实惠的解决方桉，用于在一系列行业中的蚀刻应用。