二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9249570 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+是一种PECVD（等离子增强化学气相沉积）反应器，设计用于制造高产量、高质量的半导体器件产品。DPS+PECVD利用先进的等离子体技术沉积SiN和SiO2薄膜，用于集成集成电路和其他微观设备的制造。这种PECVD反应器特别适合于保形薄膜层的沉积。DPS+采用了负载锁真空工艺室，实现了安全的可重复薄膜厚度和保形性。通过磁性和气性等离子体生产的结合，DPS+可以与介电膜和绝缘膜实现高效、低成本和过程稳定性。这使得它对于大批量生产应用程序特别有用。DPS+PECVD系统还具有两个专门为设备制造设计的高级功能和软件。第一个是等离子体处理同位素分析（PPIA®），提供实时的过程性能数据。这样可以快速直观地调整过程,从而实现可靠的设备制造。第二个特点，反应性增强配方（REF），有助于提供均匀沉积的薄膜具有良好的步长覆盖。DPS+系统由高级软件支持，使用专有算法和可操作的图形模型，对流程进行连续优化和维护。这使得生产人员更容易以经济高效的方式快速、重现地制造具有改进的器件寿命和可靠性的半导体器件。总体而言,这种高性能、经济高效的PECVD系统提供了先进的薄膜沉积和等离子体处理能力,非常适合制造高产量、高质量的半导体器件产品。它是任何希望过渡到大批量制造的半导体公司或铸造厂的完美工具。