二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9251498 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+是一种最先进的、用途广泛的水平单晶片扩散炉，具有快速晶片加载系统。它专为采用离子注入、热氧化、氮化物沉积等工艺制造的多种类型半导体器件的高通量生产而设计。AMAT Centura DPS+具有出色的均匀性和一致性,晶圆温度可高达1000 °C,具体取决于应用程序。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+具有广泛的过程控制功能,包括多区域供暖和制冷、腔室温度控制、真空控制、气流控制和对单个热区的独立控制。为了确保准确和可重复的过程，热区和热区可以使用特定地点的配方进行校准，压力区可以用压力传感器独立控制。使用热电偶等各种分析仪器监测过程，包括晶圆探测和基于计算机的诊断。该炉能够每小时移动100个晶圆,并具有传输能力、200V、8KW的高功率输入电源和自动气流清除能力。气体控制系统包括用于净化和回填的惰性气体，以及用于监测和控制气体溷合物种的气流传感器。CENTURA DPS+配备了多个查看端口和自动结束运行晶圆传输。它还提供了一个低kV晶片安装平台，用于激活或蚀刻用于背面蚀刻的掩模，以及预清洁蚀刻工艺。该炉具有一个炉上晶圆曲率传感器（OWCS），它允许在运行过程中的曲率补偿和一个完整的晶圆跟踪过程。运行温度验证是使用位于腔室前部的红外光学窗口完成的。APPLIED MATERIALS Centura DPS+可以配置一系列高级自动化、监控和控制功能,包括具有现场计量和运行结束质量检查功能的过程模块。总体而言，AMAT CENTURA DPS+是一种可靠、准确且经济高效的扩散炉，提供卓越的性能。它是多种类型半导体应用的理想选择,因为其强大而灵活的设计确保了高精度的结果。