二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS+ #9251499 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS+是一种前沿的高密度等离子体蚀刻工艺反应器，旨在提供超高蚀刻效率、高通量和改进工艺流程。AMAT Centura DPS+结合突破性蚀刻技术和突破性低成本耗材，为大小半导体和MEMS器件制造厂提供经济高效、一致、高质量的蚀刻解决方桉。APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+使用多种蚀刻技术的组合，包括双频高密度等离子体（HDP）、各向同性蚀刻和低压化学气相沉积（LPCVD）。这种技术组合允许在各种应用中改进经济的蚀刻工艺,如薄膜蚀刻、深浅沟蚀刻、选择性设备层隔离、互连隔离和多层蚀刻等。获得专利的HDP技术提供了可获得的最高蚀刻速率,而不会对底层基板层造成"底切"或变形。HDP技术可用于各向同性蚀刻和各向异性蚀刻，为两者提供高蚀刻速率。这种蚀刻技术特别适合于纤薄、高度细腻和/或极其保形层的蚀刻。集成低压化学气相沉积（LPCVD）技术可以提供选择性和均匀的化学蚀刻工艺。LPCVD工艺独特的实时反馈系统确保了工艺每个阶段的最佳沉积,并提高了生产产量和设备性能。LPCVD工艺还提供各种速率、选择性和化学计量,从而可以生产具有定制特性的定制工程材料。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS+的平台灵活性通过其三种操作模式得到进一步增强。其中包括自动生产模式、半自动选择模式和手动专家选择模式。三种模式设置允许蚀刻器针对手头的特定应用程序或任务优化过程条件和性能。受美国专利保护的APPLIED MATERIALS Centura DPS+为等离子体蚀刻需求提供了独特的解决方桉。CENTURA DPS+结合了先进的工艺流程、多种蚀刻技术和灵活的平台,为各种设备制造需求提供了经济高效、一致且高质量的蚀刻工艺。